Вакуумный пост ВН-3000

В наличии
Цена: 
по запросу
Способы доставки
Доставка по г. Самара от 2 дней
Самовывоз из терминала - бесплатно
Способы оплаты
наличные
безналичный расчет
интернет-банкинг
предоплата, частичная оплата, постоплата

Вакуумный пост ВН-3000 предназначен для исследовательских работ по распылению металлов, полупроводников и диэлектриков с помощью магнетрона RF и DC, электронно-лучевого испарителя, термического испарения и ионного травления.

Область применения

Приборы электронной техники, материаловедения, микроэлектроника, физика и другие отрасли, а также отработка отдельных технологических операций по напылению.

Конструктивные особенности

Установка выполнена в виде двух стоек – электрической и аналитической. Стойки располагаются рядом и соединяются между собой питающими, силовыми и сигнальными жгутами.

В электрической стойке расположены: - блок распределительный;

  • блок питания высоковольтный;
  • блок питания магнетрона RF;
  • блок питания магнетрона DC;
  • блок управления;
  • блок питания турбомолекулярного насоса; - ноутбук.

В аналитической стойке расположены:

  • вакуумная система;
  • рабочий объем;
  • внутри камерная оснастка;
  • турбомолекулярный насос;
  • система напуска газа в рабочий объем;
  • система водяного охлаждения насоса, магнетрона, ЭЛИ.

Вакуумная система работает в автоматическом режиме и позволяет получить вакуум в закрытом рабочем объеме без вмешательства оператора.

В рабочий объем устанавливаются следующие устройства:

  • механизм поворота;
  • осветитель;
  • устройство ионного травления/очистки (анод);
  • устройство осаждения и нагрева;
  • электронно-лучевой испаритель;
  • магнетрон RF (максимальное количество магнетронов – до 6 шт).

Возможно доукомплектование установки кварцевым измерителем толщины КИТ.

Технические характеристики
Установка обеспечивает предельное остаточное давление в рабочем объеме, не более, Па 2х10^-3
Нагреватель в устройстве осаждения и нагрева обеспечивает температуру в районе подложки, не менее, °C 300
Время нагрева до температуры 300 °С, не более, мин 30
Устройство осаждения и нагрева обеспечивает частоту вращения подложки, об/мин 5-15
Напряжение на выходе блока питания высоковольтного (без нагрузки), кВ 0-4
Максимальный ток пучка, мА 200
Максимальный ток блока питания накала катода, А 20
Мощность блока питания магнетрона RF, Вт 0-500
Максимальное напряжение блока питания магнетрона DC (без нагрузки), кВ 1,2
Ток блока питания магнетрона DC, мА 0-1000
Максимальный ток устройства ионного травления/очистки, мА 100
Установка обеспечивает откачку рабочего объема от атмосферного давления, Па 6х10-3
Время откачки рабочего давления, мин 45
Индикация давления в рабочем объеме, Па от 1,0х10^5 до 1,0х10^-4
Диаметр мишени, мм 42-104
Габариты стойки аналитической, мм 900х610х1620
Габариты стойки электрической, мм 600х600х2160
Масса, кг 420

Похожее на Вакуумный пост ВН-3000